전체 반도체 산업 체인에서 가공 및 제조는 가장 중요한 링크 중 하나입니다. 이러한 거대한 시장으로, 반도체 공정 장비는 반도체 대규모 제조의 제조 기반을 제공합니다. 이 백서는 반도체 생산 공정의 주요 장비가 무엇인지에 초점을 맞출 것입니다.
1, 단결정 용광로
장비 기능 : 용융 반도체 재료, 단일 크리스탈을 당겨, 후속 반도체 장치 제조를 위해, 단일 결정 반도체 빌릿을 제공합니다.
주요 해외 브랜드: PVA 테플라 AG (독일), 페로텍 (일본), 퀀텀 디자인 (미국), 게로 (독일), KAYEX (미국).
주요 국내 브랜드: 베이징 징윤통, 세븐 스타 화수앙, 베이징 징이 센추리, 허베이 징롱 선샤인, 시 '진코 테크놀로지, 창저우 화성 천롱, 상하이 한홍, 시화데, 중국 전자 기술 그룹 제48연구소, 상하이 심허 열성.
2. 가스 상 에피택시 용광로
장비 기능: 가스 상 에피택시 성장을 위한 특정 공정 환경을 제공하고, 단일 결정상에서 단일 결정상과의 관계에 해당하는 박층 결정의 성장을 실현하고, 단일 결정 침몰의 기능적 실현을 위한 기본 준비를 한다. 가스상 과미석은 성장 박층의 결정 구조가 단일 결정 기판의 연속이며 기판의 결정 방향에 대응하는 화학 증기 증착의 특별한 과정이다.
주요 국제 브랜드: CVD 장비, GT, 소이텍, AS, 프로토 플렉스, 커트 J.Lesker, 어플라이드 머티리얼즈.
주요 국내 브랜드: 중국 전자 기술 그룹 제48연구소, 칭다오 세리다, 헤페이 코징 머티리얼 테크놀로지 유한공사, 베이징 진성 마이크로나노, 진안 리관 전자기술 유한공사
3. 분자 빔 에피탁제도
장비 기능: 분자 빔 에피탁시스템, 공정 장비를 제공하여 특정표면에 따라 바닥면에 필름을 성장시키는 단계; 분자 빔 에피탁증(MBEA)은 단결정 박막을 준비하는 기술이다. 적절한 기판 및 적합한 조건하에서 기판의 결정축을 따라 층별로 박막 층을 성장시키는 데 사용된다.
주요 국제 브랜드: 리버 (프랑스), 베에코 (미국), DCA 인스트루먼트 (핀란드), SVTAssociates (미국), NBM (미국), 오미켄 (독일), MBE-Komponenten (독일), 옥스포드 응용 (영국) 연구 (OAR) 회사.
주요 국내 브랜드: 선양 중케 인스트루먼트 주식회사, 베이징 후이덱신 테크놀로지 유한공사, 샤오싱 쿠앙타이 기기 유한공사, 선양 케유 진공기술 유한공사
4. 산화 용광로 (VDF)
장비 기능: 반도체 재료 산화 처리의 경우 필요한 산화 분위기를 제공하고, 반도체 산화 처리 공정의 예상 설계를 달성하기 위해, 반도체 공정에서 필수 불가결한 연결고리이다.
주요 국제 브랜드: 영국 테르코 컴퍼니, 독일 센트로더럼 열 솔루션 GmbH Co.KG 회사.
주요 국내 브랜드: 베이징 세븐 스타 화수앙, 칭다오 프룬데, 중국 전자 기술 그룹 제48연구소, 칭다오 쉬광 악기 장비 유한 공사, 중국 전자 기술 그룹 제45연구소.
5. 저압 화학 증기 증착 시스템 (LPCVD)
장비 기능: 반응에 필요한 필름 및 기타 가스의 요소를 구성하는 기체 또는 액체 반응제를 함유하는 증기는 LPCVD 장비의 반응 챔버에 도입되고, 필름은 기판 표면상화학 반응에 의해 생성된다.
주요 국제 브랜드: 히타치 국제 전기 회사,
주요 국내 브랜드: 상하이 치지안 반도체 기술 유한 공사, 중국 전자 기술 그룹 제48 연구소, 중국 전자 기술 그룹 45 연구소, 베이징 악기 공장, 상하이 기계 공장.
6. 플라즈마 강화 화학 증기 증착 시스템 (PECVD)
장비 기능 : 증착 챔버에서 광선 배출을 사용하여 반도체 박막 재료를 예치하기 위해 기판에 화학 반응을 이온화하고 수행합니다.
주요 해외 브랜드: 프로토 플렉스 (미국), 톡키 (일본), 시마즈 (일본), 램 리서치 (미국), ASM 인터내셔널 (네덜란드).
주요 국내 브랜드: 중국 전자 기술 그룹 제45 연구소, 베이징 악기 공장, 상하이 기계 공장.
7. 마그네트론 스퍼터링 테이블 (MSA)
장비 기능: 양극성 스퍼터링의 표적 표면에 평행한 폐쇄된 자기장을 통해, 및 표적 표면에 형성된 직교 전자기장을 통해, 이차 전자는 표적 표면의 특정 영역에 묶여 높은 이온 밀도및 높은 에너지 이온화를 달성하고, 표적 원자 또는 분자는 높은 속도 스퍼터 형태로 기판에 증착된다.
주요 국제 브랜드: PVD 회사, Vaportech 회사, AMAT 회사, 하우저 컴퍼니, 티어 컴퍼니, 플래트 회사, 발저스 회사 및 Cemecon 회사.
주요 국내 브랜드: 베이징 악기 공장, 선양 중케 인스트루먼트 유한 공사, 청두 난광 산업 유한 공사, 중국 전자 기술 그룹 제 48 연구소, Kerui 장비 유한 공사, 상하이 기계 공장.
8. 화학 기계 연마 기계 (CMP)
장비 기능 : 결합 된 효과의 기계적 연삭 및 화학 액체 용해 "부식"을 통해 랩(반도체) 연마.
주요 국제 브랜드: 어플라이드 머티리얼, 노파 시스템즈, Rtec.
주요 국내 브랜드: 란저우 랑신 하이테크 산업 유한 공사, 알라이트 마이크로 일렉트로닉스.
9, 리소그래피 기계
장치 기능: 반도체 기판(실리콘 웨이퍼) 표면에 고르게 접착제를 붙이고, 마스크의 패턴을 포토레지스트로 옮기고, 일시적으로 장치 또는 회로 구조를 실리콘 웨이퍼로 "복사"한다.
주요 국제 브랜드: ASML (네덜란드), 팬 린 반도체, 니콘, 캐논, ABM, SUSS, MYCRO.
주요 국내 브랜드: 중국 전자 기술 그룹 제48 연구소, 중국 전자 기술 그룹 45 연구소, 상하이 기계 공장, 청두 난광 산업 유한 공사.
10. 반응형 이온 에칭 시스템 (RIE)
장비 기능: 고주파 전압이 플레이트 전극 사이에 적용되어 수백 개의 미크론 두께를 생성하고, 이온 고속 충격 패턴이 패턴에 투입되어 화학반응 에칭및 물리적 충격을 달성하고 반도체 처리 및 성형을 달성한다.
주요 해외 브랜드: 일본 에바텍 컴퍼니, 미국 나노마스터 컴퍼니, 싱가포르 REC 컴퍼니, 한국 주성회사, 한국 TES 컴퍼니.
주요 국내 브랜드: 베이징 악기 공장, 베이징 치싱 화추앙 전자 유한 공사, 청두 난광 산업 유한 공사, 중국 전자 기술 그룹 48 연구소.
11. ICP 플라즈마 에칭 시스템
장비 기능: 반응 챔버에 혼합된 하나 이상의 가스 원자 또는 분자, 플라즈마를 형성하는 외부 에너지(무선 주파수, 전자레인지 등)의 작용 하에, 한편으로는 플라즈마 및 표면 재료내의 활성 그룹이 화학 반응을 에칭하여 휘발성 제품을 생성하는; 한편, 플라즈마내의 이온은 에칭 된 표면의 방향 부식 및 가속 부식을 실현하기 위해 바이어스 압력의 작용하에 유도되고 가속된다.
주요 국제 브랜드: 옥스포드 인스트루먼트 (영국), 토르 (미국), 가탄 (미국), 쿼럼 (영국), 리먼 (미국), 펠코 (미국).
주요 국내 브랜드: 베이징 악기 공장, 베이징 치싱 화추앙 전자 유한 공사, 중국 전자 기술 그룹 제 48 연구소, 고더 이온 기술 (홍콩) 지주 유한 공사, 마이크로 전자 연구소, 중국 과학 아카데미, 노스 마이크로 일렉트로닉스, 베이징 오리엔탈 지청 유한 공사, 베이징 트랜드 스위나 기술.
12, 젖은 에칭 및 청소 기계
장비 기능: 습식 에칭은 부식 기술을 위한 에칭 솔루션에 담근 에칭 재료입니다. 세척은 장치 성능에 영향을 미칠 수 있는 오염을 줄이고 신뢰성 문제를 유발하며 다음 프로세스의 각 층 앞또는 다음 층 앞에서 철저한 세척이 필요한 수율을 줄이는 것입니다.
주요 해외 브랜드: 스크린(일본), SEMES(한국), 도쿄 일렉트론(일본), 램 리서치(미국)
주요 국내 브랜드: 난통 후린 코나 반도체 장비 유한 공사, 베이징 치싱 화수앙 전자 유한 공사, 중국 전자 기술 그룹 제45 연구소, 대만 홍수.
13. 이온 이식 기계 (IBI)
장비 기능 : 반도체 의 표면 근처 영역을 도핑.
주요 해외 브랜드: 바리안 반도체 장비, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc., 바리안 반도체 제조 장비, Inc.(AMAT에 의해 인수).
주요 국내 브랜드: 베이징 악기 공장, 중국 전자 기술 그룹 제48 연구소, 청두 난광 산업 유한 공사, 선양 팡지 빛 산업 기계 유한 공사, 상하이 실리콘 탑 마이크로 일렉트로닉스 유한 공사.
14, 프로브 테스트 벤치
장치 기능: 반도체 장치의 패드와의 프로브 접촉을 통해 반도체의 성능 지수가 설계 성능 요구 사항을 충족하는지 여부를 확인하기 위해 전기 테스트를 수행합니다.
주요 국제 브랜드: 독일 잉운 회사, QA 회사, 마이크로액트 회사, 에코피아 회사, 리노 회사.
주요 국내 브랜드: 중국 전자 기술 그룹 제45 연구소, 베이징 치싱 화추앙 전자 유한 공사, 루이크 인스트루먼트, 화롱 그룹, 심천 센메이 시에어 기술.
15. 웨이퍼 숱이 기계
기능: 연마를 통해 웨이퍼의 두께를 줄입니다.
국제 주요 브랜드: 일본 디스코 컴퍼니, 독일 G&N 회사, 일본 오카모토 회사, 이스라엘 캠텍 회사.
주요 국내 브랜드: 란저우 랑신 하이테크 산업 유한 공사, 심천 폰다 그라인딩 장비 제조 유한 공사, 심천 진질리 정밀 연삭 기계 제조 유한 공사, Weianda 그라인딩 장비 유한 공사, 심천 Huannifeng 기술 유한 공사, (주)
16. 웨이퍼 스크리빙 머신 (DS)
장치 기능 : 웨이퍼, 다이의 작은 조각으로 잘라.
주요 해외 브랜드: 독일 OEG 회사, 일본 디스코 컴퍼니.
주요 국내 브랜드: 중국 전자 기술 그룹, 베이징 케추앙 소스 광전기 기술 유한 공사, 서안 기계 유한 공사, (709 공장) 노스 웨스트 기계 공장, hui sheng 전자 기계 및 장비 회사, lanzhou: 레이저, 하이테크 산업 co., LTD., (주, henz., henz., henz.co., henz., henz runz.co., henz ruby, henz.co., henz.co., henz ruhen. 주하이 리아나옵트로닉스, 주하이 유에마오 테크놀로지.
17. 와이어 본더
장치 기능: 반도체 칩의 패드를 핀에 패드와 전도성 금속 와이어(골드 와이어)로 연결합니다.
주요 국제 브랜드: 아메리칸 오테이, 독일 TPT, 오스트리아 FK, 말레이시아 UNISEM.
주요 국내 브랜드: 중국 전자 기술 그룹 제45연구소, 베이징 트랜스히지 기술 개발 유한공사, 유신(청두) 집적 회로 포장 및 테스트 유한 공사(말레이시아 유니산 투자), 심천 카이지우 자동화 장비 유한회사